机译:金属前体脉冲在等离子体增强原子层沉积中的金属前体脉冲的反应机理及表面面积的作用
机译:用于原子层沉积的新八面体Ta(V)肼基取代化合物:TaCl(NMe2)(3)[N(TMS)NMe2]和Ta(NMe2)(4)[N(TMS)的合成,X射线衍射结构NMe2],以及酰胺和肼基配体在溶液中的流动行为
机译:通过以O_2等离子体或H_2O为氧源的原子层沉积来了解RuO_2上TiO_2层生长过程中的界面反应机理
机译:原子层沉积TiO_2使用Ti(Och_3)_4和H_2O作为前体的初始表面反应机制
机译:氧化锡和氧化锌锌的原子层沉积:了解烷基金属前体与臭氧的反应。
机译:基于FT-IR和QM的气相环戊二烯基Tris(二甲基氨基)锆(CpZR(NME2)3)的原位监测系统的热分解基于FT-IR和原子层沉积
机译:Ta(NMe(2))(5)前驱体与H(2)等离子体的TaN(x)原子层沉积反应机理
机译:si原子层外延使用远程等离子体辅助氢解吸和乙硅烷作为前体。